广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修
抗振动测试 通过对一批泵(处于运行和非运行条件下)进行一系列测试,证明对外部源产生振动的耐受性。在 105 分钟的振动周期中,全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性,因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变,且泵不平衡性仍然远低于阈值。温度测试 将泵置于 –40 °C 至 +70 °C(处于非运行状态)以及 0 °C至 40 °C(处于运行状态)下暴露 86 小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证 11 次,结果显示仅存在的变异,远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。
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殊润滑剂润滑轴承
使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感,因为在高真空环境下,润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面,这些油脂类的蒸气会形成一种气源,影响系统的真空度和纯净度;另一方面,这些蒸气进入到真空腔体后,会冷凝附着在其它零件上,影响高真空系统内相关设备的工作。
TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的轴承,能够任意方向安装;并且,由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低,正常使用时几乎没有损耗,使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。
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振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试 通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度,以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
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分子泵控制器 “3D” 控制软件
早期的分子泵控制器又叫分子泵电源,其的功能是向分子泵供电;后来,改进型的控制器具备了一定的保护功能,可以监控分子泵的功率和温度,相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线,分子泵只能在这条线以下工作(2D),若超过这条线控制器就会报警停机。
与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到优性能的曲面上(3D),达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一个完整的系列。
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分子泵故障: 1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
原因:附近有光照或其他热源
解决方法:避免光照或热源
2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?
原因:冷却不良,负载太大
解决方法:检查冷却系统,检查真空系统
3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
原因:负载太大,系统真空度不够
解决方法:检查系统
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目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。